在紫硅半导体无尘车间，技术人员对设备进行安装调试。（紫硅半导体 供图）

　　本报记者 林露虹 通讯员 郭文晨

　　碳化硅，第三代半导体材料的典型代表。近年来，从光伏到新能源汽车，碳化硅下游市场需求愈发旺盛，科技厂商竞相入局。

　　有人淘金，就有淘金铲子的需求。厦门创新创业园孵化企业紫硅半导体就瞄准“淘金铲子”——专注于碳化硅等第三代半导体设备的研发和生产，成立仅4年，就在业内小有名气。近期，紫硅半导体在火炬高新区的支持下，迁入位于火炬园的新办公场地，新产线产能一年可达百台。

　　省内唯一

　　自主研发碳化硅专用设备

　　万级无尘车间里，身着无尘服的技术人员正忙着组装、调试设备。“我们主要做高温退火设备的研发，可解决晶片高温退火的均匀性问题，有效克服大尺寸碳化硅晶片应力大、高温退火效果不理想的痛点。”紫硅半导体创始人张峰介绍。

　　张峰说，高温退火系统是碳化硅生产的关键设备，放眼国内，具备相关实力的企业也就4家左右。“我们也是福建省内唯一一家做碳化硅专用设备的制造企业。”

　　张峰是厦门大学物理科学与技术学院物理学系校友和教授，曾任中国科学院半导体研究所研究员。2019年，张峰在火炬高新区“校友经济”的牵引下，回到厦门，在厦门创新创业园创办紫硅半导体。

　　“从一开始，我们的方向就很明确，专注做碳化硅专用设备，走‘专精特新’发展道路。”张峰自学生时代起就深耕碳化硅等第三代半导体材料的研究，他希望依托紫硅半导体，推动科研成果落地。

　　万事开头难。张峰说，初创阶段，火炬高新区从资本、场地等多方面给予支持，为企业“扶上马、送一程”。“火炬高新区的高新投是我们的天使轮投资人，不仅为我们提供资金，还有创业辅导、园区服务等多方面配套服务。”

　　把握机遇

　　助力第三代半导体产业发展

　　凭借着过硬的技术实力，紫硅半导体目前已拿到多家头部企业的订单，其产能也处于稳步爬升阶段。

　　“碳化硅正迎来快速发展期，尤其是新能源汽车强劲增长，对碳化硅材料的需求持续走高。”张峰说，碳化硅具有耐高温、低损耗等特点，对于整车厂来说，碳化硅半导体能降低功率器件的损耗，有效提升电动汽车续航里程。

　　与此同时，碳化硅的成本也逐步下降。“20年前，碳化硅的价格跟黄金一样贵。从2003年开始，碳化硅的价格大概每年下降20%。”张峰说，优良的物理特性以及逐步降低的成本，推动碳化硅市场驶入发展快车道。

　　在张峰看来，厦门日益完善的产业生态圈，也为紫硅半导体的发展提供了“养分”。“我们有不少客户是厦门本地企业，大家时常在一起分享交流，协作之路也越走越宽广。”

　　张峰表示，未来，紫硅半导体将把握行业机遇，持续精进技术，为厦门第三代半导体发展贡献力量。

　　【链接】

　　厦门创新创业园

　　加强梯度培育

　　壮大创新主体

　　紫硅半导体的发展是厦门创新创业园孵化科技企业的一个缩影。今年来，厦门创新创业园持续加强梯度培育，壮大创新主体，深化“益企服务”，全力保障企业成长。截至今年6月底，厦门创新创业园新增市创新型中小企业约100家；新增专精特新中小企业20家；3家企业获评“省博士后创新实践基地”；1家企业参与的科技成果获评“中国科学十大进展”。